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物理氣相沉積 或物理氣相沉積是一種涉及原子級材料轉移的汽化技術。與化學氣相沉積或 CVD 類似,此製程被認為是電鍍的替代方法。 物理氣相沉積 過程經歷以下 4 個階段:蒸發、傳輸、反應和沈積。
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